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石墨烯光电探测器制造技术
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文档序号:14044802
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本实用新型公开了一种石墨烯光电探测器。该探测器的结构从上至下依次包括:金/镍层作为源极和漏极连接外部电路;石墨烯作为电子传输层;二氧化硅作为绝缘介质层;半导体纳米结构作为光吸收载体;硅衬底作为栅电极。该探测器的工作波段可依据采用半导体纳米结...
该专利属于泰州巨纳新能源有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过泰州巨纳新能源有限公司授权不得商用。
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