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一种镀敷设备，包括：台，基板保持器放置在该台上，基板保持器能够可拆卸地保持基板；镀敷部，镀敷部中保持镀敷溶液，用于通过将基板在竖直面中浸没在该镀敷溶液中而对由基板保持器保持的基板进行镀敷；和基板保持器运送器，用于在该台和该镀敷部之间运送该基...
该专利属于株式会社荏原制作所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社荏原制作所授权不得商用。

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