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本发明涉及研磨用组合物以及使用该研磨用组合物的研磨方法，该研磨用组合物含有水和二氧化硅，所述二氧化硅的BET比表面积为30m2/g以上、且NMR比表面积10m2/g以上。本发明的研磨用组合物通过采用二氧化硅的BET比表面积为上述范围且NMR...
该专利属于霓达哈斯股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过霓达哈斯股份有限公司授权不得商用。

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