下载制造选择性掺杂光伏电池的方法的技术资料

文档序号:14024643

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本发明涉及制造选择性掺杂光伏电池的方法,包括:提供掺杂第一导电型的半导体衬底;在衬底中形成具有第一浓度掺杂元素的第一掺杂区域;通过将掺杂元素离子注入到衬底中,形成最大尺寸小于一毫米的至少一组对准图案以及与第一区域相邻的第二区域,第二区域具有...
该专利属于法国原子能及替代能源委员会所有,仅供学习研究参考,未经过法国原子能及替代能源委员会授权不得商用。

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