下载一种多层软板等离子处理方法及多层软板的技术资料

文档序号:14023675

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本发明公开一种多层软板等离子处理方法及多层软板。其中,等离子处理方法,其包括步骤:A、在多层软板的上表面和下表面均盖上一盖板,形成等离子处理结构,其中,盖板的开窗区域与待等离子处理区域一致;B、利用夹子夹住等离子处理结构的上部、下部、左侧和...
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