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本发明涉及一种基于飞秒激光微加工的微纳光纤振动传感器，属于光纤传感领域。单模光纤、空芯光纤和实芯光纤顺序熔接；用飞秒激光从实芯光纤端面烧蚀形成质量块和悬臂梁；所述质量块为圆柱体，该圆柱体的直径小于空芯光纤的内径；空芯光纤和实芯光纤通过悬臂梁...
该专利属于北京理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京理工大学授权不得商用。

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