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本发明提供了一种显影设备，用于基板的显影制程，所述显影设备包括机台，所述机台上设有显影液室和多个可转动的支撑体，多个所述支撑体贯穿所述显影液室排布，多个所述支撑体上承载有所述基板，多个所述支撑体将所述基板传送至所述显影液室内；所述显影液室的...
该专利属于武汉华星光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉华星光电技术有限公司授权不得商用。

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