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一种用于生产线的可移动式载盘装置，是用于承载一待处理基板并于一生产线中的一传送机构上移动，其包含一金属承板、一电极板及一绝缘单元。该金属承板能移动地位于该传送机构上并包括一穿孔。该电极板设置于该金属承板上方并供承载该待处理基板。该电极板具有...
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