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半导体结构及其制作方法技术
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文档序号:14010410
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一种半导体结构及其制作方法。半导体结构包含第一基底、第二基底、间隔层、光阻层与导电层。第一基底具有焊垫。第二基底具有通孔、壁面及相对的第一表面与第二表面,通孔贯穿第一表面与第二表面,壁面围绕通孔,且焊垫对齐通孔。间隔层位于第一基底与第二基底...
该专利属于精材科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过精材科技股份有限公司授权不得商用。
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