专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
环球晶圆股份有限公司
>
晶圆旋转装置制造方法及图纸
>技术资料下载
下载晶圆旋转装置的技术资料
文档序号:13999578
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明提供一种晶圆旋转装置用于晶圆处理设备。晶圆旋转装置包括基座、承载装置、第一轴齿轮、动力单元、滚轮、第二轴齿轮与驱动组件。基座具有容置空间。承载装置配置于容置空间内,且用以容置晶圆。第一轴齿轮配置于基座的侧面。动力单元组装至基座的顶部,...
该专利属于环球晶圆股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过环球晶圆股份有限公司授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。