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本发明公开了一种宽视角模式TFT基板制备方法。所述方法包括:在基板上沉积Gate层的工序;采用CVD工艺,沉积岛层的工序;沉积第一ITO层的工序;沉积源极漏极层的工序;采用PECVD工艺,沉积PA层的工序;在本工序中,包括:以一相对较低的功...该专利属于信利(惠州)智能显示有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过信利(惠州)智能显示有限公司授权不得商用。
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