下载P沟肖特基栅碳化硅静电感应晶闸管及其制造方法的技术资料

文档序号:13983810

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本发明公开了一种P沟肖特基栅碳化硅静电感应晶闸管及其制造方法,目的在于,降低器件开态电阻、提升功率特性,结构所采用的技术方案为:包括自下而上依次设置的N型欧姆接触电极、N型SiC衬底、P型SiC缓冲层、P型SiC漂移层和P型电流增强层,P型...
该专利属于长安大学所有,仅供学习研究参考,未经过长安大学授权不得商用。

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