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本发明涉及一种碳化硅纳米颗粒的流化床化学气相沉积制备方法，包括采用流化床化学气相沉积法，将前躯体材料六甲基二硅烷加热产生蒸汽，通过气体载带的方式进入流化床反应器；前躯体蒸汽在高温区发生热解反应，形成碳化硅纳米颗粒；纳米颗粒在流化气体的作用下...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

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