下载一种采用超薄压电单晶体制作的薄膜体声波谐振器的技术资料

文档序号:13979918

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本发明提出一种采用超薄压电单晶体制作的薄膜体声波谐振器,包括具有地室的高阻衬底、由上金属电极和下金属电极夹持压电体组成的三明治有源结构,三明治有源结构设置于高阻衬底上端;所述压电体为超薄压电单晶体,地室内设有若干根支柱。超薄压电单晶体所用的...
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