下载贴合基板的分割方法及分割装置的技术资料

文档序号:13976912

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本发明涉及一种贴合基板的分割方法及分割装置。本发明提供能够将利用粘接层贴合硅基板与玻璃基板而成的贴合基板较佳地分割的方法及分割装置。将贴合基板在特定的分割预定位置分割的方法包括:划线形成步骤(单元),通过对玻璃基板的一主面的分割预定位置照射...
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