下载采用隧道场效应晶体管的集成电路及其制造方法的技术资料

文档序号:13975983

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本发明提供一种采用隧道场效应晶体管的集成电路及其制造方法,减少形成将两个隧道场效应晶体管电连接的电路所需要的面积及成本,并且还减少寄生电容、寄生电阻。作为解决方案,采用隧道场效应晶体管的集成电路的特征在于,在一个活性区域以同一极性形成有第一...
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