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柔性基板剥离装置及柔性基板剥离方法制造方法及图纸
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文档序号:13971971
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本发明涉及一种柔性基板剥离装置及柔性基板剥离方法,其中,柔性基板剥离装置包括:控制器、第一传送载台及激光器。第一传送载台用于承载并传送待剥离的柔性器件,且衬底基板用于接触第一传送载台。第一传送载台包括第一传送区域及激光照射区域,且第一传送载...
该专利属于昆山国显光电有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过昆山国显光电有限公司授权不得商用。
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