下载一种多干扰因素耦合的光栅尺误差补偿方法的技术资料

文档序号:13967153

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本发明公开了一种多干扰因素耦合的光栅尺误差补偿方法,包括以下步骤:在光栅尺测量过程中采用多个传感器测量获得多种干扰因素的作用强度值,进而与误差补偿数据库进行匹配,获得该组作用强度值对应的最优误差补偿量;采用该最优误差补偿量对光栅尺系统进行补...
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