下载一种增加电流开关比的隧穿场效应晶体管的技术资料

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本发明属于超大规模集成电路领域中逻辑器件与电路领域,具体为一种增加电流开关比的隧穿场效应晶体管。本发明中,通过源区与漏区之间设低K介质区增大源区与本征区之间电场,提高开态电流和抑制关态电流。设置掺杂层与衬底形成反偏的PN结,隔离源区—低K介...
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