下载晶片的生成方法的技术资料

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提供晶片的生成方法,从锭高效地生成晶片。晶片的生成方法包含分离起点形成步骤,照射对于六方晶单晶锭具有透过性的波长的激光束聚光点,形成与锭的正面平行的改质层和从改质层伸长的裂痕而形成分离起点。分离起点形成步骤包含改质层形成步骤,c轴相对于正面...
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