下载一种高温压力传感器的技术资料

文档序号:13935331

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本实用新型公开了一种高温压力传感器,包括传感头、光纤、玻璃管,所述传感头包括玻璃基底、单抛硅片和硅膜片,玻璃基底底面设有一空腔,单抛硅片安装在空腔内,且底面与硅膜片的上顶面相连,硅膜片下端设有一深腔,所述传感头为方形,所述玻璃基底顶面中部设...
该专利属于中北大学所有,仅供学习研究参考,未经过中北大学授权不得商用。

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