下载一种薄膜性能测试中的制片的方法的技术资料

文档序号:13929093

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明实施例公开了一种薄膜性能测试中的制片的方法。该方法包括:在衬底基板的表面上固定至少一组面积小于所述衬底基板且各自独立的基片;将固定有所述基片的所述衬底基板置于镀膜区域;按照预设的镀膜工艺参数进行镀膜;从所述衬底基板上取下镀膜后的各所述...
该专利属于京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。