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全自动基板清洁机制造技术
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文档序号:13928009
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全自动基板清洁机,包括:底座、前后导轨、气动抓手、基板、下静电风棒、下吹气嘴压力调节阀、下吹气嘴、上吹气嘴、上静电风棒、上吹气嘴压力调节阀、吹气低压停止压力开关、吹气恢复压力开关。本发明具有以下优点:采用静电风棒和吹气嘴从基板的上下侧同时对...
该专利属于上海功源电子科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海功源电子科技有限公司授权不得商用。
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