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本发明提供了一步法湿法黑硅制备以及表面处理方法，包括以下步骤：将去除表面损伤层后的硅片浸入腐蚀液中反应制得黑硅；所述腐蚀液为含金属离子的浓氢氟酸、氧化剂和高分子聚合物的混合水溶液；将黑硅浸入表面处理腐蚀液中进行表面优化处理，即得亚微米结构的...
该专利属于南京科乃迪科环保科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南京科乃迪科环保科技有限公司授权不得商用。

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