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提供了用于极紫外光刻(EUVL)的玻璃制品。玻璃制品包括氧化硅‑氧化钛玻璃，其具有贯穿玻璃制品的组成梯度，组成梯度由如下函数定义：[TiO2]＝(c+f(x,y,z))以及[SiO2]＝(100‑{c+f(x,y,z)}‑δ(x,y,z))...
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