下载一种单多晶硅链式酸碱一体制绒及其制备方法的技术资料

文档序号:13897475

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种单多晶硅链式酸碱一体制绒及其制备方法,该一体制绒流程为上料→酸绒→碱预洗→碱绒→碱洗→酸洗→下料,在多晶硅制绒时,除了碱绒这个槽体不配药液,其余均配液;单晶硅制绒时所有槽体的药液均配上。多晶制绒的制备方法为酸绒→碱预洗→碱洗...
该专利属于常州大学所有,仅供学习研究参考,未经过常州大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。