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干式滚筒研磨法以及介质的制造方法技术
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文档序号:13893965
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本发明提供干式滚筒研磨法以及介质的制造方法。在第一工序中,通过在研磨用介质(40)的表面涂敷润滑性赋予材料(44),来形成非湿润的涂敷部(44C),对介质(40)的表面赋予润滑性。在第二工序中,使介质(40)与被加工物(W)在滚筒槽(12)...
该专利属于新东工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过新东工业株式会社授权不得商用。
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