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带有集成气体渗透传感器的封装器件制造技术
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下载带有集成气体渗透传感器的封装器件的技术资料
文档序号:13884637
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本发明提供了一种包括集成气体渗透传感器的封装器件,包括:底基板,其上布置有电子元件,电子元件装于用于保护电子元件免受湿气和/或氧气侵蚀的封装内;至少一个传感器,其布置于封装内以测量气体进入封装的渗透;每个传感器包括导电感测元件,所述导电感测...
该专利属于新加坡科技研究局所有,仅供学习研究参考,未经过新加坡科技研究局授权不得商用。
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