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用于外延生长装置的腔室部件制造方法及图纸
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下载用于外延生长装置的腔室部件的技术资料
文档序号:13838569
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公开了用于外延生长装置的腔室部件。反应腔室由顶板来界定和形成。反应气体在侧壁中所设置的反应气体供应路径中整流,使得在所述反应腔室中的所述反应气体的流动方向上的水平分量对应于从所述反应气体供应路径的开口的中心延伸的方向上的水平分量。对所述外延...
该专利属于应用材料公司所有,仅供学习研究参考,未经过应用材料公司授权不得商用。
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