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本发明为一种基于白光干涉术的测试系统及其测试方法，其特征在于：所述的测试系统包括显微光学系统、数字CCD摄像机、图像采集卡、干涉系统、压电陶瓷、压电陶瓷控制器、气浮平台、白光卤素光源和PC机。本发明的测试方法通过PC机操作压电陶瓷控制器控制...
该专利属于中国计量大学;上海市计量测试技术研究院所有，仅供学习研究参考，未经过中国计量大学;上海市计量测试技术研究院授权不得商用。

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