下载一种用于金刚线多晶硅片的自动喷砂装置的技术资料

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公开了一种用于金刚线多晶硅片的自动喷砂装置,包括:启动系统、磨液系统、喷枪系统、上料系统、工艺仓和控制器。当外界输入的操作指令为喷砂指令时,控制器自动控制启动系统、磨液系统、喷枪系统、上料系统对金刚线多晶硅片表面进行喷砂处理,操作简单,加工...
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