下载基于有机弹性体栅绝缘层的薄膜晶体管压力传感器的技术资料

文档序号:13804563

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本实用新型公开了基于有机弹性体栅绝缘层的薄膜晶体管压力传感器。该压力传感器结构为顶栅错列型结构,主要包括:受压后发生形变,压力撤除后迅速恢复原状的有机弹性体作为栅绝缘层;电学性能优良的无机半导体材料作为有源层。薄膜晶体管栅极所受的压力使有机...
该专利属于华南理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过华南理工大学授权不得商用。

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