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提供能够使膜厚的测定结果立即反映到成膜工序中的薄膜制造装置和薄膜制造方法。在一个成膜单元(11)的成膜室(22)内，在成膜对象物形成构图后的薄膜，然后使其移动至另一成膜单元(11)的成膜室(22)而形成构图后的另一薄膜，此时，在位于成膜单元...
该专利属于株式会社爱发科所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社爱发科授权不得商用。

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