下载基板检测方法及基板检测设备的技术资料

文档序号:13746029

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本发明提供了一种基板检测方法及基板检测设备,该基板检测方法包括:在基板的一侧对所述基板上待检测区域进行光照;在进行所述光照时在所述基板的另一侧对所述待检测区域进行图像抓取;根据所述抓取的图像对所述检测区域进行检测。本发明提供的基板检测方法,...
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