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本发明在提高衬底面内的温度均匀性的同时迅速地降低炉内温度。具有：反应管，其对衬底进行处理；加热部，其配置在反应管的外周，且对反应管内进行加热；隔热部，其配置在加热部的外周；流路，其在隔热部上设有多个，且供外部气体或冷却介质流通；和顶棚部，其...
该专利属于株式会社日立国际电气所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社日立国际电气授权不得商用。

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