下载晶体硅刻槽埋栅电池的钝化接触电极结构的技术资料

文档序号:13721479

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本实用新型涉及一种晶体硅刻槽埋栅电池的钝化接触电极结构,其特征是:包括硅衬底,在硅衬底表面覆盖第一钝化层和第二钝化层;在所述硅衬底上设有槽体,槽体由第一钝化层的表面延伸至硅衬底内部,第二钝化层覆盖第一钝化层以及槽体的侧壁和底部;在所述槽体内...
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