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本发明的掺杂Mn及Nb的PZT系压电膜由掺杂Mn及Nb的复合金属氧化物构成，膜中的金属原子比Pb:Mn:Nb:Zr:Ti满足(0.98～1.12):(0.002～0.056):(0.002～0.056):(0.40～0.60):(0.40～...
该专利属于三菱综合材料株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过三菱综合材料株式会社授权不得商用。

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