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物理量传感器及其制造方法、电子设备以及移动体技术
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文档序号:13710943
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本发明提供了一种物理量传感器及其制造方法、电子设备以及移动体。该物理量传感器能够降低盖体从基体上剥离的可能性。物理量传感器(100)包括:基体(10);盖体(20);功能元件(102),其被配置在由基体(10)和盖体(20)形成的空腔(2)...
该专利属于精工爱普生株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。
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