下载低温泵系统、低温泵控制装置及低温泵再生方法的技术资料

文档序号:13708468

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本发明提供一种低温泵系统、低温泵控制装置及低温泵再生方法,其课题在于缩短低温泵的再生时间。本发明的低温泵控制部(100)具备再生控制部,该再生控制部根据再生顺序来控制低温泵(10),再生顺序中包括排出处理,在排出处理中从低温泵(10)排出冷...
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