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具有扩展触头的碳纳米管晶体管制造技术
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文档序号:13708235
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一种半导体器件,包含沿着第一方向延伸以界定长度且沿着与第一方向垂直的第二方向延伸以界定高度的基板。该基板包含电介质层以及形成于电介质层上的至少一个栅极叠层。源极触头被形成于栅极叠层的第一侧的相邻处,并且漏极触头被形成于栅极叠层的相对第二侧的...
该专利属于国际商业机器公司所有,仅供学习研究参考,未经过国际商业机器公司授权不得商用。
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