下载一种晶圆级芯片封装方法及封装件的技术资料

文档序号:13707905

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本发明提供一种晶圆级芯片封装方法及封装件,该封装方法在形成有再布线层的晶片正面表面开设沟槽,将多个器件裸芯分隔,然后安装金属凸块,再形成第一保护层以包裹晶片的正面、侧面,并填充在沟槽中,随后对晶片进行背面研磨减薄,使填充在沟槽中的第一保护层...
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