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本实用新型实施例公开一种用于流化床化学气相沉积反应器的气体入口设备。所述设备包括：石墨多孔气体入口及中路气体管道，所述中路气体管道的一端设置于所述反应器内，用于将待裂解的气体通入所述反应器中；主体内循环水套，用于冷却所述中路气体管道，其中，...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

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