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本实用新型涉及一种合金CoCr和金属Sb作为膜层材料的极紫外多层膜人工晶体单色器，该单色器包括基底，其上面依次层叠有打底层、CoCr/Sb周期多层膜人工晶体及保护层，其中CoCr/Sb周期多层膜人工晶体由CoCr膜和Sb膜周期性构成。CoC...
该专利属于苏州宏策光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州宏策光电科技有限公司授权不得商用。

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