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江苏影速光电技术有限公司
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激光直写倾斜双面曝光装置制造方法及图纸
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下载激光直写倾斜双面曝光装置的技术资料
文档序号:13665395
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本实用新型公开一种激光直写倾斜双面曝光装置,包括底座(4)和曝光装置(2),曝光装置(2)有两组,均倾斜设置在底座(4)的上表面,在两组曝光装置(2)的中间位于底座(4)上表面设置滑移座(5),曝光装置(2)为多棱镜集成组件,多棱镜集成组件...
该专利属于江苏影速光电技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏影速光电技术有限公司授权不得商用。
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