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一种一体式晶圆出货影像留存设备制造技术
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文档序号:13665031
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本实用新型公开了一种一体式晶圆出货影像留存设备,包括静电操作台、金属挡板、摄像设备、静电纸和放置区域;所述金属挡板有三块,分别沿静电操作台的工作面的三条边垂直向上设置,所述摄像设备分别设置在各个金属挡板的顶部,所述放置区域凸起设置在静电操作...
该专利属于安徽晶新微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过安徽晶新微电子有限公司授权不得商用。
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