下载一种真空气氛管式炉抽真空系统的技术资料

文档序号:13609744

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本发明公开了一种真空气氛管式炉抽真空系统,包括有石英管,所述石英管两端分别安装有大球阀和小球阀,所述大打球阀与石英管连接处安装有真空表,真空表下端设有阀门,阀门下端安装有扩散泵机组。本发明具有温度均匀、控制稳定、升温速度快、节能、使用温度高...
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