下载一种有机发光二极管ITO电极的制备方法的技术资料

文档序号:13605729

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本发明公开了一种有机发光二极管ITO电极的制备方法,包括有以下步骤:A、在玻璃基板上均匀涂布ITO膜,分别在去离子水、丙酮、洗涤剂和异丙醇中用超声波清洗,然后用高纯度氮气吹干;B、将上述步骤得到的样品在等离子体增强化学气相沉积设备中利用等离...
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