温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

包括：载台(20)，包含吸附切割片(12)的吸附面(22)；抽吸开口(40)，设置于载台(20)的吸附面(22)；盖(23)，沿着吸附面(22)滑动而开闭抽吸开口(40)；及开口压力切换机构(80)，将抽吸开口(40)的压力在接近于真空的第...
该专利属于株式会社新川所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社新川授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。