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碳化硅半导体装置及其制造方法制造方法及图纸
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文档序号:13569131
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碳化硅半导体装置100,其特征在于,包括:n型半导体区域114,形成在n‑型异质外延层112的表面;p型体区域116,形成在比n型半导体区域114更深的位置上;p‑型沟道区域118,被形成为从n‑型异质外延层的表面侧到达p型体区域;以及n+...
该专利属于新电元工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过新电元工业株式会社授权不得商用。
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