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本发明公开了一种外延生长监控图形，所述外延生长监控图形分为X和Y方向的两组，每组都包含有一封闭的口字型图形，其中X组图形的口字型图形水平方向两外侧均有垂直的外框图形；Y组图形的口字型图形上下两外侧均有水平的外框图形，所述的垂直或水平的外框图...
该专利属于上海华虹宏力半导体制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华虹宏力半导体制造有限公司授权不得商用。

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